Prejsť na obsah
Výskum

Laboratórium uhlíkových nanoštruktúr a grafénových vrstiev
Fakulta Elektrotechniky a informatiky STU

Ústav:                  Ústav elektroniky a fotoniky
Kontaktná osoba:  Ing. Marián Vojs, PhD.
Kontakt:               02-6029 1367
e-mail:                  marian.vojs@stuba.sk

Charakteristika:

Technické vybavenie/zariadenia

  • SEM Cold Cathode Microscope JEOL JSM 7500
  • Raman Spectrometer (ISA-Jobin Yvon-Dilor-Horiba, 633 nm)
  • AUTOLAB PGSTAT128N with automatic Dosino system
  • RF RIE etching system Plasma PE 200
  • Linear antenna microwave CVD reactor, low temp large area (20x30cm) deposition (Scia systems)
  • Hot Filament CVD diamond reactor (home-made)
  • Microwave/Hot Filament CVD diamond reactor (home-made)
  • Arc Discharge Reactor for CNT Growth (home-made)
  • CVD Reactor for CNT Growth (home-made)
  • RTA - Rapid Thermal Annealing (home-made)
  • Evaporation equipment for thin films deposition (home-made)
  • Contact Angle Measurement System (home-made)
  • Helium leak detector HLT570 (Pfeiffer vacuum)

 Technológie

  • Depozícia intrinzických a bórom dopovaných mikro- nano-diamantových vrstiev, uhlíkových nanorúrok, grafénových nanostien, DLC vrstiev
  • Čistenie odpadových vôd, odtokov, bazénov pokročilými elektrochemickými oxidačnými metódami
  • Výroba elektród a systémov pre elektrochemickú analýzu a degradáciu
  • Elektrochemická analýza roztokov (ťažké kovy, biomolekuly, liečivá, drogy)
  • Vákuové naparovanie a naprašovanie tenkých vrstiev kovov
  • Plazmatické leptanie v RF a DC plazme
  • Teplotné žíhanie do 800°C (RTA) vo vákuu alebo plynnej atmosfére

Servis/služby

  • Analýza materiálov metódami SEM a Ramanovej spektroskopie
  • Hľadanie a odstránenie vákuových netesností
  • Odborné poradenstvo a služby v oblasti vákuových technológií a nanotechnológií

Vzdelávanie 

  • Komplexný vzdelávací proces zameraný na fyziku vákua a vákuové technológie a nanotechnológie

 

Fotografie:


Obr.1: CVD reaktor na veľkoplošnú depozíciu uhlíkových nanomateriálov


Obr.2: Pripravené uhlíkové nanomateriály - diamantová vrstva, grafénové nanowally, uhlíkové nanorúrky, štrukturovaná diamantová vrstva